본 발표에서는 저온 증착이 가능하고 다양한 형상에의 고른 증착이 가능한 원자층 증착법의 원리 및 응용에 관해 알아보고 이 증착법에 의해 형성된 투명 전도성 산화물 박막, 특히 음이온 도핑에 의해 형성된 박막의 형성, 특성 및
응용에 대해 알아보고자 함.